201 态度（1/2）

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三月份的第二天，申城下了一场淅淅沥沥的小雨。

春节的气息犹在，元宵还没到来，气温一到晚上也不过就是四五度，又有冷风细雨扑在脸上，难免让人感到寒意。

但张汝京丝毫没有这样的感觉，他匆匆的从一间会议室走进另一间会议室，心里转着的都是当前的状况，既有行业大环境所面临的问题，也有眼前碰见的现实问题。

砰！

门被一把推开，冰凉的空气卷进办公室让众人不自觉的都皱了皱眉。

张汝京大步走进来，嗓子有些嘶哑的问道：“怎么样了？现在商讨的怎么样？”

没人回答，只有重新弥漫起来的二手烟。

张汝京到了办公桌边也不坐，直接一手按桌，倾着身子的再次说道：“又不是让你们去干EUV光刻胶，也不是立即把ArF搞好，一边搞，一边建，这就这么为难？”

他这次来申城主要就是为了ArF光刻胶研发的事情，如同他自己之前在琴岛搞的大硅片一样，高端光刻胶也是国内比较欠缺的一环。

虽说如今还没波及到这个，但冰芯上了名单，后续极可能会被追加更严厉的措施。

芯材公司是由大基金、冰芯、南大光电、芯刻微材料等公司联合成立的技术研究公司，主要目标就是取得ArF光刻胶的突破。

只是，但凡需要突破的东西都有难度，ArF光刻胶在EVU方案还没落地商用的情况下就是最高端的精密化学材料，国内这方面的厂商目前都没什么苗头。

芯材是2012年成立，彼时也费了不少功夫，这个环节的公司们本身存在竞争关系，联合研发存在着利益分配的问题。

张汝京这一趟来之前问了问相关情况，从负责晶圆制造联盟工作的秘书长那边得知，当时是冰芯态度有一点点强硬的推动了这个合作。

冰芯在内地半导体行业里有着相当大的主导权，这既是它本身的技术水平，也是晶圆制造联盟在金融危机后做了不少整合的帮忙。

不管南大光电还是芯刻微材料，它们在内地都绕不开冰芯。

再加上，方总2011年7月份进行了事实上的部分的“同气连枝”整合，冰芯加上中芯更是内地半导体公司绕不开的存在了。

基于这种情况才有了“芯材”的诞生。

从2012年到2015年的现在，芯材专注于ArF光刻胶的研究，进度上嘛，还算可以，多次进行了小规模试验，调整的配方比例也在光化学反应性能上有明显的提升。

只是，这种提升还达不到理想的状态，等到走出实验室，扩大到中试规模，工艺流程的工业化适应性评估就出现了问题。

这便没法大脚步的再往下走，况且，后面也有不少关隘，要搞长时间存储稳定性和批次间一致性测试，要做晶圆厂兼容性验证，必须得确保光刻胶和冰芯的生产工艺无缝对接，还得做大量重复性与可靠性测试。

如此这些，最后还要建立稳定的生产工艺，保证大规模生产的每一批次的光刻胶性能一致。

“芯材走在了正确的路上。”

这是来自晶圆制造联盟的评价。